在相关政策支持及设备商自身努力的双重推动下，企业相关业务营收也高速增长，半导体设备国产化率也在不断提高， CINNO Research统计数据表明，2022年中国大陆设备商半导体装备业务营收排名TOP10合计近300亿元，同比增长56%，业绩十分亮眼。

入围2022年中国大陆上市公司半导体设备业务营收排名的TOP10与2021年TOP10设备商相同，没有新增。具体来看，北方华创作为国内半导体设备商龙头企业，2022年半导体营业收入120亿，稳居排名第一，中微公司排名第二，盛美上海排名第三，长川科技排名第四，同2021年排名。2022年完成上市的拓荆科技以全年16.9亿元的营收由2021年的排名第九跃进至第五，同样2022年上市的华海清科以全年16.5亿元的营收由2021年的排名第八前进至第六，两家公司全年营收同比增长均超过100%。

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2022年中国大陆上市公司半导体设备业务营收排名，来源：CINNO Research

注：上述排名包含集成电路前道制造、后道封测及LED等功率器件设备商，不含光伏行业设备商

Top 1 北方华创

中国大陆的龙头半导体设备商，主营半导体装备、真空装备、电子元器件等，其半导体业务覆盖了刻蚀、沉积、清洗等主要半导体制造设备，2022年半导体装备相关营收120.8亿元，同比增长52%，稳居中国大陆榜首位置。

Top 2 中微公司

中微公司专注于半导体刻蚀设备和沉积设备，2022年半导体装备相关营收47.4亿元，同比增长52%。

Top 3 盛美上海

盛美上海以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备，2022年半导体装备相关营收27.6亿元，同比增长78%。

Top 4 长川科技

长川科技主营半导体测试设备，包括测试机、分选机、探针台等，2022年半导体装备相关营收25.8亿元，同比增长70%。

Top 5 拓荆科技

拓荆科技聚焦于半导体薄膜沉积设备，于2022年4月上市，2022年半导体装备相关营收16.9亿元，同比增长122%。

Top 6 华海清科

华海清科主营化学机械抛光设备，适用于晶圆制造及先进封装的关键制程，于2022年6月上市，2022年半导体装备相关营收16.5亿元，同比增长105%。

Top 7 芯源微

芯源微主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，包括涂胶显影、刻蚀、清洗设备等，2022年半导体装备相关营收13.6亿元，同比增长67%。

Top 8 新益昌

新益昌主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国大陆LED固晶机领域有领先地位，2022年半导体装备相关营收11.3亿元，同比增长1%。

Top 9 华峰测控

华峰测控主营业务为半导体自动化测试系统的研发、生产和销售，产品主要用于模拟、数模混合、分立器件和功率模块等集成电路的测试，2022年半导体装备相关业务营收10.7亿元，同比增长22%。

Top 10 至纯科技

至纯科技主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等，2022年半导体装备相关业务营收7.9亿元，同比增长11%。